在LED和MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）外延工藝中，石墨基盤和石墨托盤是關鍵部件。這些石墨制品具有高純度、高導熱性、耐高溫和良好的化學穩定性，能夠顯著提升外延層的質量和生產效率。弘信新材石墨作為國內先進的石墨解決方案專家，擁有多年的石墨盤加工經驗?？赏耆ヅ銿eeco,AIXTRON,Thomas Swan等設備。GaN外延石墨托盤、藍寶石襯底承載盤
產品特性
高純度材料：采用高純石墨制成，自有純化純度高達99.9%6N以上，確保在高溫環境下不污染外延層。
高導熱性：優異的導熱性能，能夠快速傳導熱量，保證外延層的均勻生長。
耐高溫：可在高達2200°C的溫度下穩定使用，適用于MOCVD和LED外延工藝。
化學穩定性：具有良好的抗腐蝕性，即使在高溫和化學反應環境中也能保持穩定。
定制化服務：可根據客戶的具體需求，提供不同尺寸和形狀的石墨基盤和托盤。
應用領域
LED外延：用于藍光、綠光LED芯片的外延生長，提升外延層的質量和效率。
MOCVD工藝：作為反應腔內的關鍵部件，承載襯底并提供穩定的生長環境。
化合物半導體外延：適用于GaN、SiC等化合物半導體的外延生長。
技術優勢
高精度加工：采用高精度加工技術，確保基盤和托盤的表面平整度和尺寸精度。
涂層技術：部分產品表面涂覆碳化硅（SiC）涂層，進一步提高耐腐蝕性和使用壽命。
優化熱場分布：通過優化石墨基盤的設計，減少熱應力，提升外延層的均勻性和質量
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