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      半導體用石墨紙及石墨箔/SGL Graphite Foil密封石墨紙等離子蝕刻腔室屏蔽

      2026-03-05 16:41   95次瀏覽
      價 格: 面議

      隨著第三代半導體行業的快速發展,碳化硅(SiC)等材料的制造對高溫、高純度材料的需求不斷增加。我公司推出的半導體用石墨紙及石墨箔,專為滿足半導體制造中的高溫、隔熱、密封等需求而設計,具有的導熱性、導電性和化學穩定性;

      產品特性

      超高純度:石墨紙和石墨箔采用高純石墨材料,純度高,雜質含量極低,確保在高溫環境下不污染半導體材料。

      的導熱性:石墨紙和石墨箔具有優異的導熱性能,能夠快速傳導熱量,確保工藝過程的性和穩定性。

      耐高溫性:可在高達3000°C的高溫環境下使用,適用于惰性氣體或真空環境。

      柔性與可定制性:石墨紙和石墨箔具有類似紙張的柔軟性和可塑性,可根據客戶需求定制各種尺寸和形狀。

      化學穩定性:在高溫和高真空環境下表現出色的抗腐蝕性和抗氧化性。

      應用領域

      半導體制造:用于化學氣相沉積(CVD)、物相沉積(PVD)、離子注入等工藝中的隔熱材料、柔性層和密封材料。

      晶體生長:作為保溫筒、隔熱材料和反射層,確保晶體生長過程的穩定性。

      高溫設備:適用于高溫爐、熱場系統中的隔熱和密封部件。

      產品優勢

      SIGRAFLEX? 石墨箔:由天然膨脹石墨制成,不含粘合劑,純度,適用于超高純度要求的半導體工藝。

      SIGRATHERM? 石墨軟氈和硬氈:提供優異的保溫性能,可用于熱場保溫和隔熱部件。

      定制化服務:根據客戶的具體需求,提供從設計到加工的一站式定制服務。

      公司優勢

      專業經驗:多年專注于半導體用石墨材料的研發和生產,積累了豐富的行業經驗。

      技術支持:提供專業的技術咨詢,幫助客戶優化工藝,提升生產效率。

      質量保證:嚴格的質量檢測流程,確保每一件產品都符合國際標準。

      更多信息訪問寧波弘信官網:,24小時服務熱線13636546116

      寧波弘信新材料科技有限公司

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