磁控濺射儀帶水冷KT-Z1650PVD離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
*外形小巧方便移動(dòng)
*觸摸屏控制，工藝記憶儲(chǔ)存方便鍍相同樣品
*自動(dòng)化電動(dòng)擋板，能自動(dòng)打開關(guān)閉，保證鍍樣時(shí)間和保護(hù)樣品
*石英＋不銹鋼腔體，方便觀察和清洗
磁控濺射儀帶水冷KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；
控制方式
7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
濺射電源
直流濺射電源
鍍膜功能
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率
≤1000W
輸出電壓電流
電壓≤1000V 電流≤1A
真空
機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空
≤30Pa
擋板類型
電控
真空腔室
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺(tái)
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速
8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離
40-105mm
真空測(cè)量
皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口