小型蒸鍍儀
一：產品參數
1． 產品名稱：小型蒸鍍儀
2． 產品型號：KT-Z1650CVD
3． 產品品牌：鄭科探 Zhengketan
4． 生產廠家：鄭州科探儀器設備有限公司
二：功能要求
KT-Z1650CVD 是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀，儀器雖 小功能齊全。配備 7 寸觸摸屏人工界面，具有電流時間工藝儲存功 能。配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及自動電動 樣品擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金 屬（金，銀，銅，鉻，鎳等）和有機物進行均勻蒸發沉積。真空腔 室為透明玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄 膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
三：主要技術要求
1． 控制方式：7 寸人機界面 手動 自動模式切換控制
2． 加熱方式：數字式功率調整器
3． 鍍膜功能：0-999 秒 5 段可變換功率及擋板位和樣品速度程 序
4． 功率：≤1200W
5． 輸出電壓電流：電壓≤12V 電流≤120A
6． 真空度：機械泵 ≤5Pa（5 分鐘） 分子泵≤10^-3Pa
7． 擋板類型：電控
8． 真空腔室：玻璃罩+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
9． 樣品臺：可旋轉φ62 （可安裝φ50 基底）
10． 樣品臺轉速：8 轉/分鐘
11． 樣品蒸發源調節距離：70-140mm
12． 蒸發溫度調節：≤1800℃
13． 支持蒸發坩堝類型： 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 陶瓷坩堝 石英石坩堝
14． 預留真空接口：KF25 抽氣口 KF16 真空計接口 KF16 放 氣口 6mm 卡套進氣口
四：主要配置要求
1．1 臺 · 小型蒸鍍儀 KT-Z1650CVD 主機
2．1 個 · 真空擋板閥 KF25 接口
3. 1 個 · 放氣閥 KF16 接口
4. 1 個 · 52T 真空計 KF16 5. 1 臺 ·
（選配）分子泵真空機組，機械泵