產(chǎn)品用途：探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60＊60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中x方向調(diào)節(jié)范圍：0--30mm; y方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需要檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架x/y/z方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。
真空腔體
腔體材質(zhì)
304不銹鋼
上蓋開(kāi)啟
鉸鏈側(cè)開(kāi)
加熱臺(tái)材質(zhì)
304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸
φ160x90mm
觀察窗尺寸
Φ70mm
加熱臺(tái)尺寸
φ60mm
觀察窗熱臺(tái)間距
75mm
加熱臺(tái)溫度
﹣196~350℃
加熱臺(tái)溫控誤差
±1℃
真空度
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓
≤0.1MPa
真空抽氣口
KF25真空法蘭
氣體進(jìn)氣口
3mm-6mm卡套接頭
電信號(hào)接頭
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學(xué)性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量
4探針
探針材質(zhì)
鎢針
探針尖
10μm
探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程
30mm ±15mm
X軸控制精度
≤0.01mm
Y軸移動(dòng)行程
13mm ±12.5mm
Y軸控制精度
≤0.01mm
Z軸移動(dòng)行程
13mm ±12.5mm
Z軸控制精度
≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別
物鏡
物鏡倍數(shù)
0.7-4.5倍
工作間距
90mm
相機(jī)
sony 高清
像素
1920※1080像素
圖像接口
VGA
LED可調(diào)光源
有
顯示屏
8寸
放大倍數(shù)
19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm