光柵尺
材料
B270i、K9、SUS304等
面形
平整度＜2um
平行度＜2um
光刻圖案精度
±1um
外形加工精度
±0.05mm
同心度
≤0.05mm
加工長度
≤300mm
光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點。按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。