l更高的精度：24bit采樣
l更多的參數組選擇：99組
l更多的IO接口：8 IN,8 OUT
l友好的人機界面：5寸彩色觸摸屏
l便利的數據導出：RS232
l節約系統成本：夾具控制功能
概況
電源電壓
220
伏（V/AC）
設備功率
50
瓦（W）
氣源壓力
0.4～0.7
兆帕（MPa）
環境溫度
10～45
攝氏度（℃）
設備尺寸
250*300*160
毫米（mm）
設備重量
2.5
公斤（KG）
參數
測試方式
流量測試
測試壓力（可選）
A:1～30，B:20～700，C：50～1000
千帕（kPa）
流量范圍（可選）
0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500
1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500
毫升/分鐘（sccm）
毫升/分鐘（SLPM）
測試時間
0～999.9
秒（S）
流量分辨率
0.1
毫升/分鐘（sccm）
精度
±0.8％讀數±0.2％滿量程
配置
壓力調節方式
機械調節
設備接口
RS232，IO
屏幕參數
5寸彩色觸摸屏
參數組數量
99個獨立組號
數據容量
5000個測試結果
夾具控制
2個
氣源處理
配置過濾器
P520L正壓流量檢測儀